靶材产品相信很多人都会有一些陌生，它是有不同材料的靶材，像石墨靶材、金属靶材、陶瓷靶材等，不同材料的靶材所应用的领域也不一样，今天来讲讲石墨靶材，这种材料的靶材会有什么展现呢，接下来看看石墨靶材产品都有哪些特性。

　　常用靶材：该领域常用靶材包括钽/铜/钛/铝/金/镍等难熔金属。

　　用途：主要用作集成电路的主要原料 3 功能要求：纯度、尺寸、集成度等技术要求高。

1、耐高温

　　石墨靶材的熔点为3850±50℃，即使在超高温电弧中烧制，它也具有非常低的重量损失和非常小的热膨胀系数，石墨的强度随着温度的升高而增加，在 2000°C 时石墨的强度增加一倍。

2、导电/导热性

　　石墨的导电率比一般非金属矿物高100倍，导热性超过钢、铁、铅等金属材料。随着温度升高，导热性降低，即使在非常高的温度下，石墨也能起到绝缘体的作用。石墨之所以能导电，是因为石墨中的每个碳原子只与其他碳原子形成三个共价键，每个碳原子都持有一个自由电子来传输电荷。

3、润滑性

　　石墨的润滑性能取决于石墨鳞片的大小，薄片越大，摩擦系数越小，润滑性能越好。

4、化学稳定性

　　石墨在常温下具有很高的化学稳定性，耐酸、碱和有机溶剂。

　　综合上述，可以了解到石墨靶材的性能，如耐高温、导电/导热性、润滑性等。